質譜真空泵必須由接受過適當培訓的技術員來維護，確認該技術員對泵油及系統的產物十分熟悉，做維護之前必須將泵停下，降到安全的溫度，斷開泵及其他元件與電路的連接，以避免發生意外。維護完畢，在沒接上電源之前，重新檢查一下泵的旋轉方向。O型圈和墊圈如果損壞不可重復利用。

在運轉過程中，質譜真空泵和油會受到化學品的污染。所以，應確認泵是否清洗干凈，并采取足夠的措施防止這些有害物質對人員的傷害，維護完畢后，應檢查是否有泄露的地方，如有，應重新密封。不要接觸或吸入泵受高溫(260℃)產生的熱降解的產物，它們是很危險的，包括油、油脂和真空脂。

檢查前置真空泵油位：

根據需要，可以在泵運轉的時候檢查油位，但如果要往里加油時則需斷開前置真空泵及相關部件與電源的連接。

1.透過前置真空泵的可視窗口檢查油位是否在最低限以上，最高限以下。

2.如果油位在最低限或低于最低限，打開加油孔，加油至最高限，如加得過滿可從出口放掉點。

3.如果油污染嚴重時，放掉受污染的油，清洗泵后加入干凈的油。

更換前置真空泵油：

1.開啟泵運轉10分鐘以加熱泵油，然后關泵(油加熱后可降低其粘性，比較容易倒出來)。

2.斷開泵和電路及真空系統的連接。

3.取下加油孔的塞子。

4.將泵放在一個適當的支撐物(如：凳子)上以方便泵的傾斜，在排油口下放合適的容器。取下排油口的塞子，讓油在重力的作用下流到容器中。

5.油受到污染時：

5.1取下加油孔的塞子，倒進干凈的油。

5.2重新連上泵和電路的連接，開泵運轉5-10分鐘。

5.3斷開泵和電路的連接，取下排油口的塞子，讓油流出來。

5.4重復上述步驟直到將泵清洗干凈。

6.塞上排油口的塞子，移掉支撐物，重新接上泵和電路及真空系統的連接 。

7.裝上新油，直到油位達到MAX位置附近。

8.等幾分鐘直到油抽到泵中，需要的話，可再添油(需再關泵)。塞上加油孔的塞子。

檢查和清潔前置真空泵入口過濾器

1.旋開入口轉接器，取下‘O’ ring，彈性擋圈和入口過濾器。

2.用適當的溶液清洗入口過濾器，陰干入口過濾器。

3.重新裝上入口過濾器、彈性擋圈、‘O’ring和入口轉接器。

清潔前置真空泵載氣濾網：

1.取下固定墊圈。

2.取下金屬絲網及濾頭元件。

3.用合適的溶劑清洗金屬絲網及濾頭元件，陰干后重新裝在泵上。

4.重新固定好固定墊圈。

清洗馬達風扇周圍：

1.關掉真空泵，斷開其與電源的連接。

2.利用干的布或毛刷清除電動機的風扇罩和圍欄的污染物。

注意:

如果電動機的風扇罩及周圍不保持干凈的話，進入馬達的氣流將受到限制從而導致泵過熱。